探針臺在射頻微波芯片測試中的應用
芯片測試技術隨著行業的快速發展而發展,為促進行業的進步和廣泛應用做出了巨大的貢獻。
在芯片設計、研發、生產等各個階段,應進行多次測試,以確保產品質量,開發符合系統要求的產品。
芯片測試對控制質量、確保產品可靠性、設備檢測和篩選過程至關重要。
芯片測試貫穿于整個芯片設計和大規模生產過程中。
芯片測試一般可分為不同的時間階段WAT,CP,FT三個過程。
FT:Finaltest,包裝后的測試也是最接近實際使用的測試,其目的是嚴格分類芯片。
?現狀
☆FT常用設備涉及各種測試,主要針對相對簡單的測試DC但對復雜度高、對產品質量影響大的射頻指標測試解決方案較少;
☆產能不斷提高,檢測項目越來越多,對檢測效率和穩定性提出了更高的要求;
☆測試數據量越來越大,人工測試速度不能滿足批量生產的要求,紙質記錄不能滿足信息化和智能化的要求。
特點/應用
滿足I-V/C-V,PIV測試,光電測試等.
最大可用于6英寸以內樣品測試
同軸絲杠傳動結構,線性移動
可放置于手套箱內使用
形狀輕巧,操作方便,價格實惠
整個系統主要由矢量網絡分析儀、探針臺、主控計算機和分選設備四部分組成,系統組成框圖如下:
主控計算機通過網口、GPIB、串口等硬件程控接口,基于VISA等協議,對探針臺、網絡分析儀、打點機等硬件進行程控。當被測件安置完成后,主控計算機上定制化的測試軟件會按照預先編寫好的程序對被測件進行測試,一般的測試流程包括位置映射(MAPING)、探針臺走位、儀表設置和測量、結果的采集、顯示處理、根據測試結果進行分選、進行下一次測試等步驟。測試軟件的典型工作流程如下圖所示:
工作節拍
整個系統中,被測件的測試、分選等過程是由探針臺和測試儀表配合完成,二者之間必須遵循一定的時序節拍,否則將導致設備工作混亂。系統節拍如下圖所示:
★SOT:開始測試信號;
★EOT:結束測試信號;
★BIN:分選信號;
★T1:表示網絡分析儀捕獲SOT信號的時間,具體由測試機的性能決定;
★T2:探針臺捕獲EOT信號的時間,由探針臺的性能決定;
★T3:分選信號發送時間,應當在EOT發送之前一定時間發送。
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